一个月过去了,虽然在自制的工作台上,晶圆两面进行有差别的光刻顺利,但在检测时发现芯片每一层的线路连接点,会时不时有错,以此芯片每每检测都出现误差而报废。151txt
莹莹三人经过反反复复的调试,都未能纠错。时间一天一天的过去,如果不能找出原因加以解决,他们之前的努力都将付诸东流,更对不起总经理陈东升的一颗热心,而有愧于公司。
着急中陈东升派来了总工程师叶俊,希望他与三个年轻人一道解决问题,俗话说姜还是老的辣。
叶俊原本就不看好他们,晶圆两面同时光刻本身就是天方夜谭,尽管有那所谓的零点几秒的差别,但进行起来不是你想要怎样就怎样的。
莹莹也知道这点,晶圆在光刻中若成功受限制的因素多了,工作台运作一丝一毫的误差,环境的无尘度、温度、湿度等等一点点不达标都会造成失败。她多么希望作为总工程师的叶俊,能给自己排忧解难,那怕是启发也好。
叶俊经过一番的询查,认为有两个原因,一、工作台在运作中时不时有毫颤,其颤是人没法感知的,得用电子仪器测量。二、工作台的空间无尘度不达标,以造成微差。他知道第二个较易解决,只要加大真空环境的吸尘力度即可,第一个原因他无能为力了,这涉及到机器运作系统的方方面面,其难度不亚于高超音速飞机发动机的研制。
很快第二个原因在他的指导下,没多久就解决了。
叶俊是芯片生产方面的专家,对于机械运作没能解决也情有可原,也正因如此,他庆幸,庆幸自己能给总经理交待了,一个很好的交待。但陈东升还是用希望的眼神看着他:
“你再想想办法,帮助他们解决这一问题!”“我已尽力了。对于机械方面你知道的我是个外行。”叶俊说后在心里悄悄地说:嗬,退一步即使我内行也不能帮,万一哪天他们成功了,我这个总工程师的位置就动摇。
不过,这边的莹莹还是感激他,感谢他能找出了原因。但要解决这一难题,也非莹莹三人的能力所及,然而这一难关非攻克不可啊!
复旦大学他们的原主课教授颜凯明知道这件事后,也操起了心。当初这工作台的研制,他倾注了不少的心血,现在遇到这一难道,如果不解决,他的心血不也白流了吗?
颜凯明拿起手机立即给莹莹去微信:“我跟学校主管航发研制的张教授商量了,他同意帮助我们。”
帮助我们,好!莹莹心里一下欣喜若狂,颜教授把攻克这一难关当作了自己的事,再有张教授的帮助,看来成功在望。
莹莹欣喜过后,心还是落不下,打开手机直接去电话问,“颜教授,这主管航发的张教授任务这么重,他真能有时间帮忙吗?”
“放心,他再忙也得抽时间帮。他不但是我留学德国的好朋友,在科研中也曾有求于我。另外这光刻机的研发,与研发航空发动机的一样紧迫。”
“嗯,我知道了,谢谢您!”
https://www.cwzww.com https://www.du8.org https://www.shuhuangxs.com